SEMI-e看点速览｜广明源172nm MINI实验模组首秀亮相

6月4-6日，广明源将参展2025 SEMI-e 中国（深圳）国际半导体展览会，诚邀行业伙伴莅临14号馆14G22展位(zhǎnwèi)，现场(xiànchǎng)交流172nm准分子光科技在半导体制造中的创新(xīn)应用，共探制程优化新路径(lùjìng)。 172nm MINI实验(shíyàn)模组 新品首发 本次展会，广明源将首发推出自主(zìzhǔ)研发的新品——172nm MINI实验模组。该产品专为半导体工艺研发、制程验证及小批量试产环节设计，具备结构(jiégòu)精简、成本可控、桌面即放即用、便携灵活等(děng)特点，适配(shìpèi)多种实验环境与制程需求。 172nm 深紫外(zǐwài)黑科技 可高效分解(fēnjiě)晶圆表面有机残留，提升(tíshēng)洁净度与附着性能，为封装、清洗等工艺提供稳定前处理方案。 极简结构(jiégòu)，桌面级准分子实验新体验 由于传统准分子(zhǔnfènzǐ)光(guāng)辐照器因高纯度 N₂填充(tiánchōng)结构复杂，难以实现桌面级灵活实验。广明源创新推出紧凑台式准分子光照射器——172nm MINI实验模组，机身仅相当于书本大小，采用高集成轻量化设计，打破空间与成本壁垒，助力(zhùlì)高校、企业及研究机构轻松搭建准分子光实验环境(huánjìng)，满足平板显示光清洗、塑料表面改性等(děng)多领域研发需求。 封装工艺表面清洁处理(chǔlǐ) 超净化超微细清洗工艺(gōngyì)验证 172nm 系列全线亮相(liàngxiàng)共襄盛会 除新品发布外，广明源还将展出多款172nm准分子系列光源与模组产品(chǎnpǐn)，覆盖晶圆清洗(qīngxǐ)、半导体基材(jīcái)表面活化、超纯水TOC降解等多个关键工艺环节，为制程优化与设备升级提供更多选择。 172nm准分子系列(xìliè)光源 172nm准分子系列模组及(jí)设备 SEMI-e 2025 ，诚邀(chéngyāo)莅临 欢迎(huānyíng)半导体制造(zhìzào)企业、设备厂商、工艺研发工程师及行业伙伴莅临参观交流，现场了解172nm准分子光(guāng)科技在半导体制造领域的多元应用，共同探讨合作机会。 2025 SEMI-e 中国（深圳）国际(guójì)半导体展览会 时间(shíjiān)：2025年6月4-6日 地点：深圳(shēnzhèn)国际会展中心14号馆 （本文来源：日照新闻网。本网(běnwǎng)转发此(cǐ)文章，旨在为读者提供更多信息资讯，所涉内容不构成投资、消费建议。对(duì)文章事实有疑问，请与有关方核实或与本网联系。文章观点非本网观点，仅供读者参考。）